1959年，美国因贝格和杜瓦制造了世界上第一台工业机器人。此后，世界各国都在争先恐后地开展机器人研究，机器人的功能和应用领域不断扩大。

我国机器人D研究起步较晚。它经历了20世纪70年代的萌芽期、80年代的发展期和90年代的应用期。1972年，中国科学院沈阳自动化研究所开始了机器人的研究工作。1977年，南开大学机器人与信息自动化研究所研制出我国第一台用于生物实验的微操作机器人系统。1985年12月12日，中国第一台重达2000公斤的水下机器人“海仁一号”在辽宁省旅顺港下潜60米，首次下潜成功，开创了机器人发展的新纪元。随后，我国研制的机器人陆续问世:中科院沈阳自动化研究所成功研制出重量36公斤、高1米的轻型水下机器人“金鱼二号”。中科院长春光机所发明的四足遥控仿生行走机器人，1986年在全国第二届发明展上获得金奖。1987年获第15届日内瓦国际发明与新技术展览会银奖。

从1987年开始，中国机器人示范工程中心先后制造了三种“水下机器人”。它们是:(1)老大康瑞四号机器人，高4.7米，重1200公斤，1987年3月制造；(2)1989年6月制造的“老三水下机器人”；(3)1990年9月制造的“第二中型机器人”。

1988年初，中国船舶工业集团公司702所研制成功一种高3.1米、重650公斤的载人“水下机器人”。1988年2月，国防科技大学研制成功六关节平面双足步行机器人。

1994年10月，由中国科学院沈阳自动化研究所研制成功的中国第一台无缆水下机器人探测器，长4.4米，宽0.8米，高1.5米。它的航母重2.2吨，最大潜水深度为1000米。它的研制成功标志着中国水下机器人技术的成熟。

1995年5月，中国第一台用于精密装配的高性能智能机器人“精密一号”在上海交通大学诞生。它的诞生标志着我国已经达到了研制第二代工业机器人的技术水平。

1997年，中国科学院沈阳自动化研究所成功研制了“6000m无缆自主水下机器人”，这是中国863计划中最重要的项目，并于2000年获得国家十大科技成就奖。2005年4月，中国科学院沈阳自动化研究所成功研制了行星探测机器人。2006年，中国成功研制出世界上最大的潜水器“海基一号”，工作深度7000米，可到达世界海底的99.8%，比世界上其他五种同类产品都深500米。