惯性传感器包括加速度计（或加速度计）和角速度传感器（陀螺仪）及其单、双、三轴组合IMU（惯性测量单元）、AHRS（含磁传感器的姿态参考系统）。

MEMS加速度计是一种利用传感质量块进行惯性力测量的传感器，一般由标准质量块（传感元件）和检测电路组成。 根据传感原理不同，主要有压阻式、电容式、压电式、隧道电流式、谐振式、热电耦合式、电磁式等。

1998年，美国CSDL设计研制出最早的MEMS陀螺仪。 同年，Drapor 的实验室开发了另一种形式的 MEMS 陀螺仪。

 MEMS陀螺仪是利用科里奥利效应制成的，当振动质量被底座（外壳）旋转时感应角速度。

主要形式有框架驱动（内外框架）、梳状驱动、电磁驱动等。

由于IMU是结合了MEMS技术的微型惯性测量单元，所以很多地方都称为MIMU。 主要由三个MEMS加速度传感器、三个陀螺仪和解算电路组成。

AHRS是一个包含三个磁传感器的IMU，基于四元法进行计算，可以直接输出运动体的俯仰角、横滚角和航向角。

低精度MEMS惯性传感器主要应用于手机、游戏机、音乐播放器、无线鼠标、数码相机、PD、硬盘保护器、智能玩具、计步器、防盗系统、GPS导航等消费电子产品 便携式产品。 凭借加速度测量、倾斜测量、振动测量甚至旋转测量等基本测量功能，将继续有未开发的消费电子应用。

中间MEMS惯性传感器作为工业级和汽车级产品，主要应用于汽车电子稳定系统（ESP或ESC）GPS辅助导航系统、汽车安全气囊、车辆姿态测量、精准农业、工业自动化、大型医疗设备、机器人、 仪器仪表、工程机械等

高精度MEMS惯性传感器作为军工级、航天级产品，主要要求高精度、全温度范围、抗冲击。 主要用于通信卫星无线、导弹导引头、光学瞄准系统等稳定应用； 飞机/导弹飞行控制、姿态控制和偏航阻尼等控制应用，以及中程导弹制导、惯性 GPS 导航和其他制导应用。 飞机、船舶仪表、战场机器人等。

对于用于消费电子的MEMS惯性传感器，主要要求是单价低、体积小、温度范围窄，因此精度要求不高，甚至是功能性产品。 加速度计重量轻、功耗低，一般量程为1～10g～50g，分辨率为2mg～10mg。 陀螺仪一般量程为±300°/s，零偏在500°/h到1000°/h之间。 因此，有些公司的产品不给出零偏差指标或给出0.1°/s～0.5°/s。