MEMS器件最早的实际批量应用起源于汽车电子行业，也被认为是MEMS传感器的第一波应用高潮。 但近年来，随着消费电子领域创新不断涌现，消费电子已成为MEMS最大的应用市场，市场规模超过15亿美元，并以每年近20%的速度增长。

  作为MEMS传感器的第二波应用高潮，MEMS传感器在消费电子领域的应用包括运动/跌倒检测、导航数据补偿、游戏/人机界面、电源管理、GPS增强/盲区消除、速度/距离计数 、其他运动和医疗保健应用等。 其中，陀螺仪是增长最快的细分领域，已成为仅次于加速度计的第二大应用产品。

  医疗保健被称为MEMS应用的第三次浪潮，也被MEMS行业称为高价值市场。 随着人口老龄化和医疗成本上升，各种远程监控和高精度治疗设备将越来越多地被引入。

  技术进步也是MEMS产业发展的重要推动力，特别是MEMS与数字芯片在同一封装内的片上集成，为MEMS市场的振兴带来了巨大支撑。

  用于时钟生成的MEMS振荡器也是当前MEMS应用中的热点。 随着便携式电子设备对时钟产生解决方案在体积和精度方面的要求越来越高，越来越多的人呼吁MEMS取代石英晶体振荡器。 来得更大一些。 市场研究公司Yole的分析显示，全球MEMS振荡器市场将从2009年的800万美元快速增长至2015年的6.45亿美元。

  MEMS广泛应用于汽车电子领域。 其应用方向和市场需求包括车辆防抱死制动系统（ABS）、电子稳定程序（ESP）、电控悬架（ECS）、电动手刹（EPB）、坡道起步等。 辅助系统（HAS）、胎压监测（EPMS）、发动机防抖、车辆倾斜测量、车内心跳检测等。其中电子车身稳定方案ESP是众多MEMS厂商密切关注的新应用 到。 由于其主动防滑功能需要更多的传感器和先进的处理系统，这将使汽车电子这个传统的MEMS应用市场重新焕发光彩。

  作为一种主动安全措施的道路安全新技术，全球许多国家和地区已经开始立法强制安装电子车身稳定系统（ESC）与ESP。 美国和加拿大将从今年9月起要求所有新生产的汽车。 对于配备ESC的轻型车，欧盟和澳大利亚要求从2009年11月起所有新车型必须配备ESC，韩国和日本分别要求从2010年1月和2010年10月起所有新车型配备ESC。