利用压阻效应原理,采用集成工艺技术,通过掺杂、扩散,沿单晶硅片特征晶体方向制作应变电阻,形成Wheathm凳桥。 利用硅材料的弹性力学特性,对同一硅切割材料进行各向异性微加工,制作出集力敏感和力电转换检测于一体的扩散硅传感器。
选型说明
1、传感器和变送器的选择
根据所测量压力的性质,用户应首先确定选择表压(相对于当地大气压)、差压、绝对压力或负压。 如果测量液位,还要确定液位是否高于自由大气压力或密封容器压力。 如果测量密封压力容器内的液位,应选择差压产品。
2、产品范围的确定
考虑到产品的绝对安全,一般保持工作压力值在标准范围值的60%-80%为宜。 整个测量系统可能发生的异常情况引起的过载压力不得超过产品允许的最大过载。 测量动态管道液体压力时,还应考虑水垂效应,并适当增加产品承载能力。
3、产品精度选择
产品等级根据多个参数进行分级。 等级越高,价格越贵。 用户可根据检测的工况要求每一项及某一单参数精度指标,从而以较低的价格达到较高的精度要求。 产品给出的三个准确度指标是采用国际最小二乘法或基于末端的平移法计算得到的。 选择传感器时,应根据测量系统分配给传感器的最大误差选项来确定准确度级别。 有时还应考虑由零漂移、零温度系数和满量程温度系数引起的附加误差。
4、选择产品的工作温度范围
有些系列的变送器在电路组装后进行了全面的温度补偿。 补偿范围在个别产品介绍中注明。 对于使用温度范围较宽、综合精度要求较高的用户,在二次仪表数据处理中还可以利用软件进行温度误差修正。 若超出补偿区使用,温度系数指标可能超标,但仍可使用。 长期在极端温度区工作会大大缩短产品寿命。
5、差压传感器和变送器的选择
通用型差压传感器和变送器通常用于高压端压力高于低压端压力的情况。 虽然扩散硅传感器也可用于负压差,但一般两个压力端基本对称,但负压一般不需要对两个压力端进行额外校准。 如果用户要求两个压力端子高度对称,需特别通知。 低压端可用于系统中的过负范围。
6、频率响应特性
扩散硅传感器的固有频率高于其他产品。 另外,它主要受传感器结构压力室结构参数和传感器结构底座刚体尺寸的影响。 后者的长度不能无限,因此主要受压力室的影响。
7、与被测介质的匹配
传感器、发射器接口和电子设备外壳由多种建筑材料制成。 它具有不同的媒体兼容性。 为了获得最佳的使用效果,避免因介质不匹配而造成产品损坏,用户在选择和订购时应了解介质的准确名称、浓度和温度。
产品安装及使用注意事项
安装和拆卸带有螺纹连接的产品时,必须使用扳手拧紧螺钉。 安装时不要拧得太紧。 严禁夹住其他部件进行安装、拆卸,以免损坏相关连接件。 不得有尖锐或坚硬的物体伸入压力孔端部,以免损坏敏感膜或隔离膜。 严禁撞击、撞击、坠落。
扩散硅传感器的零输出不能用单臂电阻法直接消除。 可以采用软件调零法、差分输入微调法、T型电阻网络校正等。