电容传感器被广泛运用于角度、位移、液位等参数的精准测量，其具高灵敏度和高精度之优势。然而，以上优势有赖于传感器设计合理、材料选用恰当以及工艺精细，同时需关注以下影响电容传感器精度的因素。

1. 温度对结构尺寸的影响

    环境温度的变动会引发电容传感器各部分集合尺寸及相对位置的变动，从而导致温度附加误差，对于检测间隙变化的传感器而言，此误差更显严重，因其中初始间隙甚小。

2. 温度对介电常数的影响

     电容传感器的电容值与介电常数成正比，若介电常数的温度系数不为零，则温度变化必将导致电容值的变动，从而产生温度附加误差。

3. 漏电阻的影响

     电容传感器的容抗通常很高，尤其在低频激励下。若总漏电阻与容抗相当，则需考虑分路效应对整体灵敏度的影响，这将降低传感器的灵敏度。

4. 边缘效应与寄生参数的影响

     边缘效应将导致设计计算繁琐、非线性出现及灵敏度下降。解决办法是在结构上增设保护电极，且保护电极须与另一保护电极保持相同电位，并尽可能以地电位作为参考。