近现代，特别于近20年内，电子式湿度传感器以其迅速发展进入人们视野。厂家出厂前需采用标准湿度发生器对每只进行标定，由此保障其精确度可达2%-3%RH。然而，此湿度传感器的精度与其长期稳定性息息相关，一般而言，其长期稳定性及使用寿命与干湿球湿度传感器相较稍逊。由于运用半导体技术，湿度传感器对使用环境温度有特殊要求，若超越该温度区间，易对传感器造成损坏。因此，电子式湿度传感器更适宜在清洁且常温环境下应用。

湿度测量是世界计量领域的一大难题，那么电子式湿度传感器所受误差影响又如何呢？具体如下：

1.湿度传感器误差敏感元件分散性：元件阻值、容值对湿度响应存在离散性；

2.信号转化误差：阻值、容值转换为电压、电流信号过程中产生；

3.温漂、时漂造成：湿敏元件无法完全密封，易受空气中酸性、碱性成分及有机溶剂腐蚀、污染，寿命及稳定性受限，需定期标定。

4.信号处理误差：信号放大、补偿、修正后出现失真；如湿敏元件温度系数具有变量属性，常温下补偿后，高温时仍然存在误差。

5.电路误差：主要包括整机电路的零点漂移、温度漂移。

6.校准、标定时产生误差：标定设备的干燥系统、饱和系统不佳；双压法、双温法设备压力、温度控制不准；分流法设备中质量流量计不准；露点法采样气时导管漏气或太长导致温度影响等多种因素均可能造成误差。

7.平衡时间不足或无法达到平衡产生的误差；敏感元件周围存在发热源（如功率较大的元器件）亦会对测量产生影响。

8.传感器在工作室停留位置不同产生的误差。